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        日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡

        產(chǎn)品時間:2025-05-15

        訪問次數(shù):1900

        簡要描述:

        日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡
        與現(xiàn)有機型相比分辨率提高了20%左右
          (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
          采用污染小、高真空樣品倉
          運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

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        日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

        日本日立HITACHI超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 的詳細介紹

          沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2

          采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的佳性能

          與現(xiàn)有機型相比分辨率提高了20%左右

          (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

          采用污染小、高真空樣品倉

          運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

          極低著陸電壓下高分辨觀察日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導(dǎo)體器件,高分辨成像所設(shè)計。

        • 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計提高了低加速電壓性能。

          • 0.4nm / 30kV(SE)

          • 1.2nm / 1kV(SE)

          • 0.34nm / 30kV(STEM)

        • 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

        • 采用設(shè)計的Super E x B能量過濾技術(shù),高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

           

           

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