日本filmetrics板厚測量系統F3-sX
可以高精度測量硅基板和玻璃基板的厚度。
通過安裝初開發的具有高波長分辨率的光譜儀，可以測量高達 3 mm 的厚膜。
憑借 10 μm 的小光斑直徑，可以測量粗糙和不均勻的薄膜。
通過添加自動載物臺，可以輕松測量面內分布。

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