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        準自動膜厚測量系統

        產品時間:2025-05-14

        訪問次數:1047

        簡要描述:

        日本filmetrics對準自動膜厚測量系統F6
        F50機型,帶缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制
        自動測量對準、基線和薄膜厚度映射

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        日本filmetrics對準自動膜厚測量系統F60

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        F60自動測繪膜厚測量系統是F50的機型,具有缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制。
        只需將樣品放在載物臺上,然后單擊測量按鈕即可自動執行對齊、基線和膜厚映射。

         

        主要特點

         

        • F50機型,帶缺口檢測、自動基線功能和互鎖機制

        • 自動測量對準、基線和薄膜厚度映射

        主要應用

        半導體
        抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

        產品陣容

        模型F60-tF60-t-UVF60-t-近紅外F60-t-EXR測量波長范圍膜厚測量范圍




        380 – 1050nm
        190 – 1100nm950 – 1700nm380 – 1700nm
        20nm – 70μm5nm – 40μm100nm – 250μm20nm – 250μm
        ± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度± 0.2% 薄膜厚度
        2納米1納米3納米2納米

        測量示例

        可以測量硅晶片上的氧化膜、抗蝕劑等。只需設置樣本,對齊、參考等將*自動完成。


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