日本filmetrics自動膜厚測量系統(tǒng)F50
主要特點
結(jié)合基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能和自動高速載物臺的系統(tǒng)
以過去無法想象的速度測量點的膜厚和折射率
兼容2英寸至450毫米的硅基板，可任何測量點

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